Nicolas Chesneau

Imagerie SEM et fusion de données pour l'industrie de la microélectronique

Résumé

La miniaturisation de plus en plus poussée des transistors pousse les acteurs de la microélectronique à innover dans le domaine de la métrologie, dans le but de contrôler au mieux leur processus industriel. A l'heure actuelle, les appareils de mesure (microscopie SEM, scattérométrie..) arrivent en limite de résolution. Dans ce contexte, la détection et la mesure de formes dans une image SEM, ainsi que la fusion de données hétérogènes, revêt une dimension critique pour le milieu de la nanotechnologie.